原理：利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。

与WDS（波谱仪）相比，EDS（能谱仪）具有以下优缺点： 优点:

（1）能谱仪探测X射线的效率高。

（2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。

（3）结构简单，稳定性和重现性都很好。

（4）不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。

缺点：

（1）分辨率低.

（2）能谱仪只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。

（3）能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。