浅谈RIE反应离子刻蚀机，芯片工艺人不可错过！ 作者  华慧高芯网|发布：2021-08-31 07:01:47    更新：2019-07-19 15:24:26 阅读 1赞 0 随着大规模集成电路制造朝着更高集成度、更小关...

编辑词条 “等离子体刻蚀机”一般是指“等离子刻蚀机” 等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最...

外延生长 语音 编辑 讨论 上传视频 外延生长是指在单晶衬底（基片）上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段。外延生长技术发展于50年代末60年代初。...

外延 （集成电路制造中一道工艺） 语音 编辑 讨论 上传视频 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层 [1]  。新淀积的这层称为外延层。外延为器件设计者在优化器件性能方面提供了很大的灵...