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现有的镀膜制程是由作业人员将清洁完成的工件放入已与外界压力平衡的镀膜设备的载台上，接着密闭镀膜设备开始抽真空，当镀膜设备的真空度到达一定的负压时，即由镀膜设备中的加热座加热基片并以...

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不同于扫描隧道显微镜STM，原子力显微镜（AFM）主要通过探测针尖和样品间的相互作用力获得样品表面信息，不需要导电的样品，可以研究比STM更为广泛的样品体系，自发明以来迅速成为基础科学和应...