干式真空泵的分类及其工作原理
2013-04-29张以忱东北大学 干式真空泵的主要型式： 1、干式螺杆真空泵 2、无油往复真空泵 3、爪式真空泵 4、无油涡旋真空泵 干式真空泵的工作原理： 1、干式螺杆真空泵 干式螺杆真空泵，是利用...
钦州坭兴陶
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分子泵与钛升华泵组合系统的应用特性
2010-03-25张以忱东北大学 涡轮分子泵的单位体积抽速小，对不同种类气体具有不同的压缩比，因而对被抽气体有一定的选择性。但其在一定的压力范围内具有恒定的抽速，而钛升华泵结构简单，...