针对原料和用途的不同，相应的有几种不同方法。通常来讲有气相沉积法，氧化还原法，插层法。 1 气象沉积法主要是含碳气体（甲烷、依稀），在一定的温度和压力条件下，碳原子在生长基上附着，形...

科普 | 什么是引力波？它为什么会让物理学家痛哭流涕？(组图) 正文 我来说两句(人参与) 扫描到手机 2016-02-12 23:17:00 来源：第一财经网站 手机看新闻 保存到博客 “破五”是中国传统迎财神的...

MEMS制造工艺（Microfabrication Process）是下至纳米尺度，上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺，方式十分丰富，几乎涉及了各种现代加工技术。起源于半导体和微电子工艺，...

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