典型MEMS工艺流程
EasyKey易捷 2016-12-19 EMS表面微机械加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺。表面微加工中,采用低压化学气相淀积(LPCVD)这一类方法来获得作为结构单元的薄...
为什么有些半导体器件的生产工序要在真空中进行
为什么有些半导体器件的生产工序要在真空中进行 分子 气体 真空 晶体 半导体器件 2016-11-10 06:24:20 0 评论 浏览量:27740 次 半导体器件的生产,除需要超净的环境外,有些工序还必须...
表面增强拉曼-SERS
编辑 同义词 SERS一般指表面增强拉曼 表面增强拉曼散射(Surface-Enhanced Raman Scattering,简称SERS),用通常的拉曼光谱法测定吸附在胶质金属颗粒如银、金或铜表面的样品,或吸附在这些金...

