半导体所 固态光电信息技术实验室
实验室概况 中国科学院固态光电信息技术重点实验室 中国科学院固态光电信息技术重点实验室成立于2014年。实验室重点研究宽带高速光电信息产生、传输、探测与处理中的核心技术，提高我国...
外延生长
外延生长 语音 编辑 讨论 上传视频 外延生长是指在单晶衬底（基片）上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段。外延生长技术发展于50年代末60年代初。...
等离子刻蚀机
编辑词条 “等离子体刻蚀机”一般是指“等离子刻蚀机” 等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最...
RIE反应离子刻蚀机，芯片工艺人不可错过！
浅谈RIE反应离子刻蚀机，芯片工艺人不可错过！ 作者 华慧高芯网|发布：2021-08-31 07:01:47 更新：2019-07-19 15:24:26 阅读 1赞 0 随着大规模集成电路制造朝着更高集成度、更小关...