为什么称它为多功能磁控溅射镀膜系统?
现有的镀膜制程是由作业人员将清洁完成的工件放入已与外界压力平衡的镀膜设备的载台上,接着密闭镀膜设备开始抽真空,当镀膜设备的真空度到达一定的负压时,即由镀膜设备中的加热座加热基片并以...
氦气检漏仪的原理和构造
https://showcase.ulvac.co.jp/cn/how-to/product-knowledge07/principle.html 检漏仪的基础知识 氦气检漏仪的原理和构造 (1)氦气的特征 特征 优点 1 大气中含量低(5ppm) 噪音值低 2 质量数为...



