功能简介：
高真空温控型纳米热电多参量原位表征系统，具有纳米结构高分辨显微成像和纳米物性表征等多功能模式，包括接触式/非接触式AFM、摩擦力模式（FFM）；表面电势模式（KFM)，压电响应模式（PFM）；磁力模式（MFM）、导电模式（AFM-CITS）、、扩散电阻模式（SSRM）、热电模式（STeM）等，可实现纳米结构及微区电学、弹性、机电及热电特性的高分辨显微成像和表征。
仪器型号与工作条件：
设备厂商:Hitachi High-Tech Science Corporation,型号:AFM5300E SPM Unit。形貌最高分辨能力 XY：0.2nm, Z： 0.01nm；电流分辨能力：10pA，电流测量范围：±100nA。
SSRM电流分辨能力：10pA~0.1mA。可连续变温设计，实现-120℃连续变温到300℃，无须更换样品台，并可原位进行扫描；同时配置高温加热台，加热范围为室温到800℃。
仪器图片：
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