1. 真空区域划分
|
真空区域
|
压强范围
|
|
|
托(Torr)
|
帕(Pa)
|
|
|
低真空
|
760~10
|
101325～1333
|
|
中真空
|
10~10-3
|
1333～1.33×10-1
|
|
高真空
|
10-3~10-8
|
1.33×10-1～10-6
|
|
超高真空
|
10-8~10-12
|
10-6～10-10
|
|
极高真空
|
＜10-12
|
＜10-10
|
2. 流速与漏率
|
Pa·l/s
|
mbar·l/s
|
Torr·l/s
|
atm·cm3/s
|
sccm
|
|
|
1Pa·l/s
|
1
|
10
|
7.5
|
9.87
|
59.2
|
|
1 mbar·l/s
|
0.1
|
1
|
0.75
|
0.987
|
5.92
|
|
1 Torr·l/s
|
0.133
|
1.33
|
1
|
1.32
|
78.9
|
|
1 atm·cm3/s
|
0.101
|
1.01
|
0.76
|
1
|
60
|
|
1 sccm
|
1.69×10-3
|
1.69×10-2
|
1.27×10-2
|
1.67×10-2
|
1
|
3. 抽气速率单位换算表
|
单位
|
立方米/秒
(m3/s) |
升/秒(L/s)
|
立方米/小时
|
立方英尺/分
|
|
1立方米/秒(1m3/s)
|
1
|
1000
|
3600
|
2118.88
|
|
1升/秒(1L/s)
|
10-3
|
1
|
3.6
|
2.119
|
|
1立方米/小时(1m3/h)
|
2.78×10-4
|
0.278
|
1
|
0.59
|
|
1立方英尺/分(1cft/min)
|
4.72×10-4
|
0.47
|
1.69
|
1
|
4. 常用压强单位换算表
|
帕
Pa |
托
Torr |
微米汞柱
μmHg |
微巴
μbar |
毫巴
mbar |
大气压
atm |
工程大气压
am |
英寸汞柱
inHg |
磅/英寸2
lb/in2 |
|
|
1 Pa
|
1
|
7.5
×10-3 |
7.5
|
10
|
10-2
|
9.86923
×10-6 |
1.0197
×105 |
2.953
×10-4 |
1.450
×10-4 |
|
1 Torr
|
133.32
|
1
|
103
|
1333.2
|
1.3332
|
1.31579
×10-3 |
1.3595
×10-3 |
3.937
×10-2 |
1.934
×10-2 |
|
1 μmHg
|
0.13332
|
10-3
|
1
|
1.3332
|
1.3332
×10-3 |
1.31579
×10-6 |
1.3595
×10-6 |
3.937
×10-5 |
1.934
×10-5 |
|
1 μbar
|
10-1
|
7.5
×10-4 |
7.5
×10-1 |
1
|
10-3
|
9.86923
×10-7 |
1.0197
×10-6 |
2.953
×10-5 |
1.450
×10-5 |
|
1 mbar
|
102
|
7.5
×10-1 |
7.5
×102 |
103
|
1
|
9.86923
×10-4 |
1.0197
×10-3 |
2.953
×10-2 |
1.450
×10-2 |
|
1 atm
|
101325
|
760
|
760×103
|
1013.25
×103 |
1013.25
|
1
|
1.0333
|
29.921
|
14.696
|
|
1 am
|
98066.3
|
735.56
|
735.56
×103 |
980663
|
980663
×10-3 |
0.967839
|
1
|
28.959
|
14.223
|
|
1 inHg
|
3386
|
25.4
|
25.4×103
|
3.386×104
|
33.86
|
3.342
×10-2 |
3.453
×10-2 |
1
|
4.912
×10-1 |
|
1 lb/in2
|
6895
|
51.715
|
51.715
×103 |
6.895×104
|
68.95
|
6.805
×10-2 |
7.031
×10-2 |
2.086
|
1
|
5. 20℃空气在不同压强下的分子平均自由程
|
P(托)
|
1
|
10-3
|
10-4
|
10-5
|
10-6
|
10-9
|
|
λ(厘米)
|
4.72×10-3
|
4.72
|
47.2
|
472
|
4720
|
4.72×106
|
6. 不同压强下空气分子密度
|
P(托)
|
1
|
10-3
|
10-4
|
10-5
|
10-6
|
10-9
|
|
n0(个/厘米3)
|
4×1016
|
4×1013
|
4×1012
|
4×1011
|
4×1010
|
4×107
|
7. 各种橡胶特性表
|
橡胶种类
|
天然橡胶
|
丁基橡胶
|
丁腈橡胶
|
氟橡胶
|
|
特性1
|
耐水性，耐酸性，耐碱性良好
|
渗透率小
|
耐油良好
|
23型耐强酸
|
|
特性2
|
出气量较大
|
升华严重
|
弹性较好
|
26型渗透率低出气率小
|
|
真空范围
|
1×10－5托
|
10－7托
|
10－8托
|
10-8托
|
|
温度
|
－30~80℃
|
－30~150℃
|
－30~120℃
|
-20~200℃
|
8. 真空泵的种类及其工作范围
|
真空泵
|
工作范围(托)
|
真空泵
|
工作范围(托)
|
|
旋片真空泵
|
760~5×10-4
|
往复真空泵
|
760~10-2
|
|
滑阀真空泵
|
760~5×10-3
|
吸附泵
|
760~10-4
|
|
油增压泵
|
10-1~10-4
|
溅射离子泵
|
10-4~10-10
|
|
罗茨真空泵
|
10-1~10-4
|
钛升华泵
|
10-3~10-10
|
|
油扩散泵
|
10-3~5×10-7
|
分子泵
|
10-3~10-10
|
|
水环真空泵
|
760~25
|
低温泵
|
10-3~10-10
|