北京七星华创流量计有限公司

公司简介

七星流量计

我们是一家专业提供工业领域核心零部件的供应商，致力于实现核心零部件中国造的产业梦想。

七星流量计传承了气体流量测控领域40多年研发生产经验，始终以技术创新为基点，为客户过程控制中气体的精准测控提供优质的产品和服务。

在流量测控产品迭代升级的同时，七星流量计依据工业领域客户新的零部件产品需求进行探索研究，深挖技术，创新产品，不断拓宽产品线，形成了流量测控、压力测控、磁流体密封装置、气路系统等系列产品，为半导体、太阳能、燃料电池、真空镀膜、分析仪器等行业客户需求，提供定制化零部件综合解决方案及产品服务，其营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

七星流量计未来将始终专注零部件领域的研发制造，坚持以客户需求为导向，深耕发展，不断创新，做好中国工业领域核心零部件产品，为更多的客户提供优质产品与服务。

RESEARCH & DEVELOPMENT

生产研发环境

千级净化厂房

为了让公司的产品应用于半导体、光伏等领域的生产环境，保证设备在调试过程中不受零部件的污染，七星流量计的所有产品均在千级净化厂房里生产。

百级装配车间

七星的流量测控产品的装配工作都是在百级环境中进行，以确保产品的精度和稳定性受到外界环境干扰最小。

精密机加中心

精密机加中心完成流量计上所有高精密产品的机械加工和EP、钝化表面处理等业务，产品完全符合半导体级别的要求。

产品检测中心

为了保证产品性能指标长期稳定，在生产过程中，每一台产品都会经过特定环节的硬件老化。

CALIBRATION CENTER

专业的研发配套仪器

我们配备了专业的研发配套仪器，包括3D打印机、产品自动测试平台、高精度校准系统、机器人等。

3D打印机

产品自动测试平台

高精度校准系统

机器人

Position：

首页

产品中心

流量控制

七星流量计是质量流量计/控制器的中国市场领军品牌，拥有超40年研发制造精准稳定的流量测量控制设备经验，研制精确地测量和控制的热式、压力式气体质量流量产品，为各种市场应用提供流量测控解决方案。产品已经被广泛用于半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

压力控制

PC系列压力控制器产品是基于CS系列产品先进技术研发的，其各项技术指标均严格按照SEMI标准，具有精度高，响应快，重复性好，使用便捷，易于通讯，扩展性和可兼容性强等优点。目前分为前压控制和背压控制两种产品，除了配备标准的RS485输出信号，还提供模拟I/O信号。PC系列产品可应用于半导体、光伏、燃料电池以及其他控压领域。

显示仪&积算仪

流量显示仪和积算仪用于为气体质量流量控制器 (MFC)和质量流量计 (MFM) 提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示和累计流量等，分为单通道及多通道，具有多个通道的流量显示仪可以配多个MFC/MFM，它们可以相互独立地工作。

阀门管件

阀门、管件，用在管路系统的连接或控制系统，它们之间是缺一不可的。七星流量计的阀门管件主要是为了与质量流量控制器系列产品做整体配套。目前，根据多年技术积累，七星流量计正在研制适用领域更广的相关配套产品。

磁流体密封传动装置

磁流体密封传动装置是在磁性流体技术上发展起来的密封技术。磁流体密封技术可用于工业机械、光纤光电、电子电器、医疗机械、冶金机械、石油化工等领域。广泛应用于单晶炉、镀膜机、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉、刻蚀机、化学气相沉积设备、电气开关等真空传动的密封部位。

磁流体密封技术的工作原理 当磁性流体注入到高性能的永久磁铁、导磁性能良好的磁极及主轴所构成的磁回路中时，由于磁极齿尖处磁力场最强，磁流体集中处于齿尖处，在密封间隙内形成一系列液体“O”型密封环，将密封间隙充满而达到密封的效果。

解决方案

　　气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计，加工和测试，以隔膜阀，调压阀，压力传感器，过滤器，MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节，纯度过滤，流量控制等功能，目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System)，即IGS气路盘，这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。

随着半导体领域的发展，对零部件小型化的提出了更高的要求，传统的VCR气路盘难以满足要求，IGS型气路盘应运而生，它具有气体直方向运输，体积小，便于安装维护等特点，是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积，七星流量计的IGS气路盘具有高密封性，高精度，集成度高等优点，并可以依托七星流量计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量，保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。

D08-1FD单路显示仪

实心轴螺母安装磁流体装置

实心轴中法兰安装磁流体装置

实心轴法兰安装磁流体装置

空心轴通孔安装磁流体装置

空心轴法兰安装磁流体装置

直驱马达式磁流体密封传动装置

DJ2B型电磁截止阀

F型低压过滤器

F型高压过滤器

低压小流量干燥器

SJ1R型手动波纹管直角截止阀

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应用中心

应用行业

SEVENSTAR

半导体行业

SEVENSTAR提供多款高性能、高精度、快速响应的气体质量流量控制器满足半导体行业客户对工艺精准控制的需求。产品应用的设备包括晶体生长炉、氧化扩散炉、PECVD设备、MOCVD设备、PVD设备、刻蚀设备、清洗设备、光刻设备和晶圆传送装备等。同时产品提供多种不同的通讯方式满足客户的要求，包括模拟式、数字式、DeviceNet 以及PROFIBUS等。

气路系统

CS330质量流量控制器&流量计

CS300质量流量控制器&流量计

CS200质量流量控制器&流量计