LIBS利用激光功率密度非常高的特点，与物质直接(气体、固体、液体)相互作用，从而产生高温等离子体，待测元素在高温等离子体中激发或电离，根据特征谱线进行定性分析，根据特征谱线的强度进行定量分析，其分析方法与GD-OES,SPARK-OES,ICP-OES,MIP-OES完全相同，不同的是LIBS采用LASER做为光源，待测物质与光源是非接触的。

激光诱导击穿光谱技术 (LIBS) 正在成为流行的分析技术，它将能检测元素周期表中的所有元素，包括各种类型的样品（气体、固体、液体）。LIBS 对于废旧金属回收和合金鉴定的应用也非常重要，因为它能快速鉴别大批量物品。